此標準參考了SEMI E6與SEMI S2。應根據供應商的基本製程來顯示並量化能源、電力和原料的消耗，用來達成預定晶圓效果的特定控制參數、設備的特定硬體及測量條件，都會影響設備的電力與原料使用率，成為必要考慮因素。
晶圓廠可利用SEMI S23的檢測評估，可以清晰比較不同供應商的設備在同等條件下的年總能耗，有助於選擇更為節能的設備；
半導體設備製造商亦可利用SEMI S23進行檢測評估，藉以找出設備在使用過程中的耗能因子，並制定節能的增進措施，設定能源、電力與原料的相關參數，確定持續改善計畫。
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