SEMI S23 半導體製造設備之能源、電力、原料節約基準 業界資訊By 站長2021 年 6 月 23 日此標準參考了SEMI E6與SEMI S2。應根據供應商的基本製程來顯示並量化能源、電力和原料的消耗，用來達成…
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