SEMI標準於1985年由美國提出後，目前全球製造商 會被要求在出廠前準備SEMI 安全評估報告。本技術除了協助業者研擬設備安全現場評估 查核表外，也包括設備重大風險(如火災防護、電氣設計、機械手臂、安全連鎖、EMO、化學品安全)安全清單建立及風險分析。
目前主要引用標準:
SEMI:
SEMI S2 半導體設備安全設計
SEMI S3 液體加熱安全設計
SEMI S1 警告標示設計
SEMI S8 人因工程設計
SEMI S10 風險評估分析
SEMI S6 通風排氣設計與危害性化學品洩漏測試
SEMI S13 安全手冊暨文件
SEMI S14 化學品危害風險分析與評估
SEMI S17 無人搬運設備安全設計
SEMI S22 電氣設計與電氣測試
SEMI S26 FPD 設備安全設計
SEMI S28 機械手臂與load/unload 安全設計
IEC:
IEC 60204-1 電氣設計
IEC 60825-1 雷射安全設計
ISO:
ISO 13849-1 和 ISO 13849-2 安全連鎖與EMO安全迴路設計
ISO 10218-1 和 ISO 10218-2 機械手臂與機械手臂系統安全設計
ISO 15066 協同式機械手臂安全設計
ISO 12100 風險評估與設計原則
ISO 14122 高架作業梯具安全設計
ISO 13857 圍籬安全距離設計
ISO 13855 安全光電感應器安全距離設計
ISO 14119 安全護罩設計
NFPA:
NFPA 79 電氣設計
NFPA 72 National Fire Alarm and Signaling Code
NFPA 704 the Identification of the Hazards of Materials
ANSI:
ANSI/RIA R15.06 機械手臂安全設計
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